輝光離子氮化是利用輝光放電原理進(jìn)行的。輝光放電是當(dāng)氣體越過電暈放電區(qū)后，若減小外電路電阻，或提高全電路電壓，繼續(xù)增加放電功率，放電電流將不斷上升。同時輝光逐漸擴(kuò)展到兩電極之間的整個放電空間，發(fā)光也越來越明亮。當(dāng)電子能f提高，也就是增強(qiáng)電場的操作參數(shù)，則能使電暈放電過渡到輝光放電。