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輝光離子氮化爐工作時(shí)的原理您知道嗎?武漢豐而順告訴您

作者:admin 發(fā)布日期: 2019-04-18 二維碼分享

在生活中,很多人可能不太了解輝光離子氮化爐,對(duì)輝光離子氮化更不了解,那么輝光離子氮化時(shí)的原理是什么?下面武漢豐而順來(lái)帶您了解下。

輝光離子氮化爐

輝光離子氮化爐,以工件為陰極,爐體為陽(yáng)極,當(dāng)爐內(nèi)真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨氣,使真空室內(nèi)壓力約為66.65~1333.2Pa。在兩極之間加電壓為400~750V,電流密度為0.5~2.0mA/cm2的直流電,在高壓電場(chǎng)作用下,產(chǎn)生輝光放電,氨氣發(fā)生部分分解形成氮和氫的正離子和電子。具有高能量的氮離子轟擊工件表面,由動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能加熱工件,同時(shí)氮離子吸取電子還原成原子被工件表面吸收并向內(nèi)層擴(kuò)散。離子轟擊工件表面還產(chǎn)生陰極濺射,濺射出鐵離子與氮離子化合形成氮化鐵FeN,F(xiàn)eN重新附著在工件表面,然后分解為Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件內(nèi)擴(kuò)散。

輝光離子氮化是利用輝光放電原理進(jìn)行的。輝光放電是當(dāng)氣體越過(guò)電暈放電區(qū)后,若減小外電路電阻,或提高全電路電壓,繼續(xù)增加放電功率,放電電流將不斷上升。同時(shí)輝光逐漸擴(kuò)展到兩電極之間的整個(gè)放電空間,發(fā)光也越來(lái)越明亮。當(dāng)電子能f提高,也就是增強(qiáng)電場(chǎng)的操作參數(shù),則能使電暈放電過(guò)渡到輝光放電。

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