對(duì)于低真空測(cè)量?jī)x表，尤其應(yīng)用在離子滲氮設(shè)備上都不很理想。目前國內(nèi)外采用的是壓縮式真空計(jì)、電阻真空計(jì)和膜片式真空計(jì)。

1.真空測(cè)量?jī)x表

1、壓縮式轉(zhuǎn)動(dòng)真空計(jì)

采用壓縮式轉(zhuǎn)動(dòng)真空計(jì)可以測(cè)量爐內(nèi)非可凝性氣體的壓強(qiáng)，測(cè)得數(shù)值的重復(fù)性好，也較正確，但不能連續(xù)測(cè)量。因有水銀蒸發(fā)，使用時(shí)不宜與爐子長期聯(lián)通，每次測(cè)定完畢，應(yīng)將真空皮管夾緊密封。在沒有正確測(cè)量?jī)x表的條件下，尤其是工藝試驗(yàn)需要較準(zhǔn)確測(cè)量壓強(qiáng)時(shí)。

2、電阻真空計(jì)

利用熱導(dǎo)原理制成的電阻真空計(jì)，是一種價(jià)格較為便宜的儀表。但在離子滲氮中應(yīng)用，由于氫氣的存在，它的熱導(dǎo)率與氮、空氣等比較，相差近七倍，故其所測(cè)數(shù)值誤差大，尤其在高壓強(qiáng)時(shí)指示值能超出量程，但作為爐體極限真空度或起輝前真空度的測(cè)試，還可使用。

3、膜片式真空計(jì)

武漢離子滲氮設(shè)備配帶膜片式真空計(jì)和我國半自動(dòng)控制型離子滲氮設(shè)備配帶的膜片式真空計(jì)，都是在膜片上裝有應(yīng)變?cè)M成電橋，規(guī)管一端接參考真空室，一端接被測(cè)爐體的型式。試用中發(fā)現(xiàn)這種真空計(jì)和被測(cè)氣體的成分關(guān)系不大，但有零點(diǎn)飄移和膜片的復(fù)原時(shí)間較長等缺點(diǎn)，且價(jià)格較貴。

2.爐壓控制系統(tǒng)

武漢離子滲氮爐內(nèi)的氣壓是氣流動(dòng)態(tài)平衡的結(jié)果，爐壓控制可以采用固定抽氣速率，調(diào)整進(jìn)氣流量或無固定進(jìn)氣流量，調(diào)整抽氣速度兩種方法來實(shí)現(xiàn)。